セグメント化されたアンテナアセンブリ

摘要

プラズマ強化化学蒸着（ＰＥＣＶＤ）装置において使用するためのセグメント化されたアンテナアセンブリ。一実施形態は、上面及び底面を有するチャンバ本体と、アンテナであって、第１セグメントと、第１セグメントに電気的に結合され、チャンバの内部容積を通って延びる第２セグメントと、第２セグメントに電気的に結合された第３セグメントを含むアンテナと、第２セグメントの外径の周りに配置された誘電体層を含む装置を提供する。