Hochauflösende Scanning-Mikroskopie

摘要

Mikroskop zur hochauflösenden Scanning-Mikroskopie einer Probe (2), mit einer Beleuchtungseinrichtung (3) zum Beleuchten der Probe (2), einer Abbildungseinrichtung (4) zum Scannen mindestens eines Punkt- oder Linien-Spots (14) über die Probe (2) und zum Abbilden des Punkt- oder Linien-Spots (14) in ein beugungsbegrenztes, ruhendes Einzelbild (17) unter einem Abbildungsmaßstab in eine Detektionsebene (18), einer Detektoreinrichtung (19) zum Erfassen des Einzelbildes (17) in der Detektionsebene (18) für verschiedene Scanpositionen mit einer Ortauflösung, welche unter Berücksichtigung des Abbildungsmaßstabes in mindestens einer Ausdehnung/Dimension mindestens doppelt so groß ist wie eine Halbwertsbreite des beugungsbegrenzten Einzelbildes (17), einer Auswerteeinrichtung (C) zum Auswerten einer Beugungsstruktur des Einzelbildes (17) für die Scanpositionen aus Daten der Detektoreinrichtung (19) und zum Erzeugen eines Bildes der Probe (17), das eine Auflösung aufweist, die über die Beugungsgrenze gesteigert ist, wobei die Detektoreinrichtung (19) aufweist: ein Detektorarray (24), das Pixel (25) aufweist und größer ist als das Einzelbild (17), und ein nicht-abbildendes Umverteilungselement (20–21; 30–34; 30–35), das dem Detektorarray (24) vorgeordnet ist und die Strahlung aus der Detektionsebene (18) nicht-abbildend auf die Pixel (25) des Detektorarrays (24) verteilt, wobei in oder in der Nähe der Objektivpupille oder in einer zur Objektivpupille konjugierten Ebene zur Erzeugung einer räumlichen Verteilung des Beleuchtungslichtes und/oder Detektionslichtes senkrecht zur optischen Achse und/oder in Richtung der optischen Achse mindestens eine Phasenmaske mit lateral veränderlichem Verlauf der Phasenbeeinflussung vorgesehen ist.