摘要 |
<p>超音波発生装置の製造方法は、複数の既存圧電素子のそれぞれについて、厚み方向の第1の電気機械結合係数及び径方向の第2の電気機械結合係数に基づく性能値を算出することと、それぞれの仮状態について、所定電流値の電流が供給されることにより発生する超音波振動の仮振幅の目標状態での目標振幅に対する偏差に基づいて仮影響値を算出することと、を備える。前記超音波発生装置の前記製造方法は、全ての素子実装部の実質影響値の合計が前記目標振幅に対して所定の範囲内となる状態に、それぞれの前記素子実装部に実装される前記実装圧電素子を前記既存圧電素子の中から選択することを備える。</p> |