Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils

摘要

Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauteil und ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils. Das Bauteil weist auf: einen Rahmen (40); eine Blattfeder (20; 21; 22; 23; 24), welche mit dem Rahmen (40) verbunden ist, und welche eine Vorderseite (F20; F21; F23; F24) und eine Rückseite (B20; B21; B22; B23; B25), welche von der Vorderseite (F20; F21; F23; F24) abgewandt ist, aufweist; ein Spiegelelement (10; 10‘), welches auf der Vorderseite (F20; F21; F23; F24) der Blattfeder (20; 21; 22; 23; 24) angeordnet ist und mit der Vorderseite (F20; F21; F23; F24) der Blattfeder (20; 21; 22; 23; 24) derart verbunden ist, dass das Spiegelelement (10; 10‘) verstellbar an dem Rahmen (40) aufgehängt ist; und mindestens einen piezoelektrischen Streifen (30, 31; 32, 33; 34, 35; 36, 37), welcher mit der Rückseite (B20; B21; B22; B23; B25) der Blattfeder (20; 21; 22; 23; 24) verbunden ist; wobei durch Anlegen einer elektrischen Spannung an den mindestens einen piezoelektrischen Streifen (30, 31; 32, 33; 34, 35; 36, 37) die Blattfeder (20; 21; 22; 23; 24) zum Verstellen des Spiegelelements (10; 10‘) elastisch deformierbar ist.