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Mikroskop zur hochauflösenden Scanning-Mikroskopie einer Probe (2), mit einer Beleuchtungseinrichtung (3) zum Beleuchten der Probe (2), einer Abbildungseinrichtung (4) zum Scannen mindestens eines Punkt- oder Linien-Spots (14) über die Probe (2) und zum Abbilden des Punkt- oder Linien-Spots (14) in ein beugungsbegrenztes, ruhendes Einzelbild (17) unter einem Abbildungsmaßstab in eine Detektionsebene (18), einer Detektoreinrichtung (19) zum Erfassen des Einzelbildes (17) in der Detektionsebene (18) für verschiedene Scanpositionen mit einer Ortauflösung, welche unter Berücksichtigung des Abbildungsmaßstabes in mindestens einer Ausdehnung/Dimension mindestens doppelt so groß ist wie eine Halbwertsbreite des beugungsbegrenzten Einzelbildes (17), einer Auswerteeinrichtung (C) zum Auswerten einer Beugungsstruktur des Einzelbildes (17) für die Scanpositionen aus Daten der Detektoreinrichtung (19) und zum Erzeugen eines Bildes der Probe (17), das eine Auflösung aufweist, die über die Beugungsgrenze gesteigert ist, wobei die Detektoreinrichtung (19) aufweist: ein Detektorarray (24), das Pixel (25) aufweist und größer ist als das Einzelbild (17), und ein nicht-abbildendes Umverteilungselement (20–21; 30–34; 30–35), das dem Detektorarray (24) vorgeordnet ist und die Strahlung aus der Detektionsebene (18) nicht-abbildend auf die Pixel (25) des Detektorarrays (24) verteilt, wobei Amplitude und/oder Phase der durch die Probe beeinflussten Wellenfront durch entsprechende Mittel ortsaufgelöst erfasst wird. Wobei beispielsweise mittels eines Wellenfrontsensors die Beeinflussung der Phase durch die Probe bestimmt wird. |
