Halbleitergehäuse mit einem Luftdrucksensor

摘要

Ein Halbleitergehäuse, das einen Luftdrucksensor aufweist, sowie Verfahren zum Ausbilden eines Halbleitergehäuses, das einen Luftdrucksensor aufweist, sind beschrieben. Zum Beispiel umfasst ein Halbleitergehäuse eine Vielzahl von Aufbauschichten. Eine Kavität ist in einer oder mehreren der Aufbauschichten angeordnet. Ein Luftdrucksensor ist in der Vielzahl von Aufbauschichten angeordnet und umfasst die Kavität und eine über der Kavität angeordnete Elektrode. Außerdem sind verschiedene Ansätze zum Herstellen eines Halbleitergehäuses beschrieben, das einen hermetisch versiegelten Bereich aufweist.