发明名称 |
EVAPORATOR UNIT FOR A PVD COATING INSTALLATION AND METHOD FOR PROVIDING SAID EVAPORATOR UNIT |
摘要 |
<p>Der Verdampferkörper (2) für eine PVD-Beschichtungsanlage umfasst einen Grundkörper (4) mit einer Verdampferfläche (6), auf die eine Aluminium-Titan-Benetzungsschicht (12) aufgebracht ist. Im Auslieferungszustand wird dabei auf den Grundköper (4) eine Schicht (16) enthaltend zwei Reaktanten, nämlich insbesondere Aluminium und Titandihydrid aufgebracht, welche bei einer Erwärmung des Grundkörpers (4) die Benetzungsschicht (12) ausbilden.</p> |
申请公布号 |
WO2015036223(A1) |
申请公布日期 |
2015.03.19 |
申请号 |
WO2014EP67921 |
申请日期 |
2014.08.22 |
申请人 |
KENNAMETAL INC. |
发明人 |
GRAU, RUDOLF KARL;NGOUMENI YAPPI, RODRIGUE;SCHWEIGER, HUBERT JOSEF |
分类号 |
C23C14/24;C04B41/87 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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