| 摘要 |
<p>ソースフォロアトランジスタが出力する信号から１／ｆノイズを効果的に低減する固体撮像素子を提供する。固体撮像素子は、第１導電型の基板１０と、第１導電型とは異なる第２導電型の蓄積領域にキャリアを蓄積するフォトダイオードと、フォトダイオードから読み出されたキャリアが蓄積される浮遊拡散領域にゲート電極１５１が電気的に接続されるとともに第２導電型の埋め込みチャネルが形成されるソースフォロアトランジスタ１５と、フォトダイオード及びソースフォロアトランジスタ１５の活性領域の周囲に設けられる素子分離部２１と、を備える。ソースフォロアトランジスタ１５の埋め込みチャネルは、素子分離部２１の側壁から離間して形成される。</p> |
