发明名称 | 对准掩模组件方法 | ||
摘要 | 一种对准掩模组件的方法,包括:提供包括掩模和掩模框架的掩模组件;以及通过独立地移动掩模框架的下部和掩模框架的上部中至少之一的位置调整掩模框架。 | ||
申请公布号 | CN104419891A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
申请号 | CN201410165421.X | 申请日期 | 2014.04.23 |
申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 韩政洹 |
分类号 | C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;王艳春 |
主权项 | 一种对准掩模组件方法,包括:提供掩模组件,所述掩模组件包括掩模和掩模框架;以及通过独立地移动所述掩模框架的下部和所述掩模框架的上部中至少之一的位置,调整所述掩模框架。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |