感光性樹脂材料および樹脂膜

摘要

【課題】感光性樹脂材料を用いて形成される樹脂膜について、永久膜としての性能を維持しつつ、優れた加工性を実現する。【解決手段】感光性樹脂材料は、永久膜を形成するために用いられる感光性樹脂材料であって、フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、感光剤（Ｂ）と、を含む。また、感光性樹脂材料は、フレームレス原子吸光分析により測定される、不揮発成分全体に対する鉄の含有量が０．００５ｐｐｍ以上８０ｐｐｍ以下である。【選択図】図１