一种电镜样品制备方法

摘要

本发明公开了一种电镜样品制备方法，包括：提供包括待取样区域的晶圆，在所述晶圆上切割取出包括待取样区域的粗样，所述待取样区域包括待检测结构和检测垫；在所述粗样表面形成保护胶层；在所述保护胶层表面形成定位孔，所述定位孔位于所述检测垫上方，以确定检测结构和检测垫的位置；利用FIB将所述粗样制备成厚薄合适的电镜样品。本发明能确保包含low-k材料的电镜样品的结构在制备过程中不发生形变，准确地得到小尺寸制程中low-k材料的真正形貌特征，同时，该方法提高了工作效率以及电镜样品制备的成功率，节省了成本。

主权项

一种电镜样品制备方法，包括：提供包括待取样区域的晶圆，在所述晶圆上切割取出包括待取样区域的粗样，所述待取样区域包括待检测结构和检测垫；在所述粗样表面形成保护胶层；在所述保护胶层表面形成定位孔，所述定位孔位于所述检测垫上方，以确定检测结构和检测垫的位置；利用FIB将所述粗样制备成厚薄合适的电镜样品。