一种硅片韧性测试装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片韧性测试装置，涉及硅片测试设备技术领域。包括基台、顶盖、压针和称重器，基台为上表面的四个端角处带有四个立柱的正方形台板，立柱的截面为直角三角形，所述立柱两个相互垂直的柱面分别与基台的两个相互垂直的侧面共面，在立柱的斜面上开有水平截面为直角三角形的卡位凹槽，卡位凹槽上端贯通立柱的顶面，下端止于立柱的一个水平截面，顶盖放置在四个立柱的顶面上，顶盖的中心开有通孔，压针为从上向下套穿在通孔内的压杆，压杆底部呈半球形形状，顶部连接有水槽，基台放置在称重器上。该装置能够有效快速准确地对硅片的韧性值作出测量。

主权项

一种硅片韧性测试装置，其特征是：包括基台（1）、顶盖（2）、压针（3）和称重器（4），所述基台（1）为上表面的四个端角处带有四个立柱（5）的正方形台板，所述立柱（5）的截面为直角三角形，所述立柱（5）两个相互垂直的柱面分别与基台（1）的两个相互垂直的侧面共面，在立柱（5）的斜面上开有水平截面为直角三角形的卡位凹槽（6），所述卡位凹槽（6）上端贯通立柱（5）的顶面，下端止于立柱（5）的一个水平截面，所述顶盖（2）放置在四个立柱（5）的顶面上，所述顶盖（2）的中心开有通孔（7），所述压针（3）为从上向下套穿在通孔（7）内的压杆，所述压杆底部呈半球形形状，顶部连接有水槽（8），所述基台（1）放置在称重器（4）上。