可拼接的离子束流形状探测器

摘要

本实用新型公开了一种可拼接的离子束流形状探测器，在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板，所述石墨电极和所述陶瓷板的大小一样，交错排布，所述石墨电极和所述陶瓷板为拼接式结构。所述石墨电极和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔。本实用新型的可拼接的离子束流形状探测器，适用于检测两种不同束流形状的检测器，同时兼具检测束流稳定性的功能。且石墨电极和陶瓷板为拼接式结构，安装方便，且较正方形结构更加稳固。

主权项

一种可拼接的离子束流形状探测器，其特征在于，在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板，所述石墨电极和所述陶瓷板的大小一样，交错排布，所述石墨电极和所述陶瓷板为拼接式结构。