过刻蚀率的测试结构及其形成方法、过刻蚀率的测量方法

摘要

一种过刻蚀率的测试结构及其形成方法、过刻蚀率的测量方法，其中过刻蚀率的测试结构包括：基底，基底包括第一区和第二区；位于第一区上的第一层间介质层；位于第二区上的第二层间介质层；位于第二层间介质层上的第一刻蚀停止层，第一刻蚀停止层的上表面与第一层间介质层的上表面齐平；位于所述第一刻蚀停止层和第一层间介质层上的第三层间介质层；位于第一区上第三层间介质层中的第一沟槽；位于第二区上第三层间介质层中的第二沟槽；第一通孔，第一通孔呈上大下小的截头圆锥形；第二通孔，第二通孔上大下小的截头圆锥形。本发明提供的测试结构可以减小测量过刻蚀率的复杂度。

主权项

一种过刻蚀率的测试结构，其特征在于，包括：基底，所述基底包括位于不同位置的第一区和第二区；位于第一区上的第一层间介质层；位于第二区上的第二层间介质层；位于第二层间介质层上的第一刻蚀停止层，第一刻蚀停止层的上表面与第一层间介质层的上表面齐平；位于所述第一刻蚀停止层和第一层间介质层上的第三层间介质层，第一层间介质层、第二层间介质层和第三层间介质层的材料相同；位于第一区上第三层间介质层中的第一沟槽；位于第二区上第三层间介质层中的第二沟槽；位于第一沟槽下方、第三层间介质层和第二层间介质层中的第一通孔，所述第一通孔呈上大下小的截头圆锥形；位于第二沟槽下方、第三层间介质层中的第二通孔，所述第二通孔呈上大下小的截头圆锥形。