结合红外线感测功能的多波段光感测器及其制造方法

摘要

本发明公开一种结合红外线感测功能的多波段光感测器，包括：基底、红外线感测结构、介电层以及多波段光感测结构。基底包括第一区与第二区。红外线感测结构位于所述基底中，用以感测红外线。介电层位于所述红外线感测结构上。多波段光感测结构包括第一波段光感测器、第二波段光感测器以及第三波段光感测器。第二波段光感测器与第一波段光感测器重叠且由下而上配置于所述第一区上的所述红外线感测结构上方。第三波段光感测器，位于所述第二区的所述介电层中。

主权项

一种结合红外线感测功能的多波段光感测器，包括：基底，包括第一区与第二区；红外线感测结构，位于该基底中，用以感测红外线；介电层，位于该基底上，覆盖该红外线感测结构；以及多波段光感测结构，位于该基底上方，包括：第一波段光感测器，位于该第一区的该介电层上，与该红外线感测结构对应；第二波段光感测器，位于该第一区的该介电层中，该第二波段光感测器的第一部分与该红外线感测结构以及该第一波段光感测器重叠；以及第三波段光感测器，位于该第二区的该介电层中。