| 发明名称 | 钨靶材的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种钨靶材的制作方法，包括：提供钨靶材坯料，所述钨靶材坯料包括溅射面和背面；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行粗磨；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行半精磨；采用金刚石砂轮对所述溅射面进行精磨。本发明钨靶材的制作方法能够减少或避免钨靶材坯料在加工过程中出现掉角，得到尺寸精度高、表面粗糙度低、符合溅射性能的钨靶材；同时，还降低了钨靶材坯料加工过程中的刀具损耗，进而降低钨靶材的制作成本。 | ||
| 申请公布号 | CN104416325A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201310366627.4 | 申请日期 | 2013.08.21 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;龚祖光 |
| 分类号 | B23P15/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | B23P15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种钨靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供钨靶材坯料，所述钨靶材坯料包括溅射面和背面；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行粗磨；在进行所述粗磨之后，采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行半精磨；在进行所述半精磨之后，采用金刚石砂轮对所述溅射面进行精磨。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||