吊杆驱动装置、多臂机械手装置、电子器件处理系统及用于在电子器件制造系统中传送基板的方法

摘要

本发明描述用于基板传送系统的吊杆驱动装置及方法。吊杆驱动装置适于驱动旋转地装设至吊杆的一个或多个多臂机械手，以有效地放置或提取基板。吊杆驱动装置具有：吊杆，吊杆包括毂盘、腹板、在腹板上方的第导向器及在腹板下方的第二导向器；第一驱动构件，第一驱动构件旋转地装设至第一导向器；第二驱动构件，第二驱动构件旋转地装设至第二导向器；第一从动构件，第一从动构件于腹板上方旋转地装设至吊杆；第二从动构件，第二从动构件于腹板下方旋转地装设至吊杆；以及第一和第二传动构件，第一和第二传动构件耦接驱动构件至位于吊杆的外侧的从动构件。提供许多其他方面。

主权项

一种吊杆驱动装置，包括：吊杆，所述吊杆包括毂盘、腹板，所述腹板从所述毂盘延伸，所述毂盘具有第一导向器及第二导向器，所述第一导向器在所述腹板上方沿第一方向延伸，所述第二导向器在所述腹板下方沿第二方向延伸；第一驱动构件，所述第一驱动构件旋转地装设至所述第一导向器；第二驱动构件，所述第二驱动构件旋转地装设至所述第二导向器；第一从动构件，所述第一从动构件于所述腹板上方在第一外侧位置处旋转地装设至所述吊杆；第二从动构件，所述第二从动构件于所述腹板下方在第二外侧位置处旋转地装设至所述吊杆；第一传动构件，所述第一传动构件在所述腹板上方耦接所述第一驱动构件至所述第一从动构件；以及第二传动构件，所述第二传动构件在所述腹板下方耦接所述第二驱动构件至所述第二从动构件。