发明名称 | 物理量传感器、振动装置、电子设备以及移动体 | ||
摘要 | 本发明提供一种物理传感器、振动装置、电子设备以及移动体。所述物理量传感器具备:基板;固定部以及布线,其被设置在基板上;接触部,其对固定部和布线进行电连接;可动电极,其经由所述固定部而与所述布线电连接,在俯视观察时,所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上,所述第一区域为将被与所述可动电极和所述固定部连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。 | ||
申请公布号 | CN104422789A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
申请号 | CN201410456006.X | 申请日期 | 2014.09.09 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 田中悟 |
分类号 | G01P15/125(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I |
代理机构 | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;苏萌萌 |
主权项 | 一种物理量传感器,其特征在于,具备:基板;固定部以及布线,其被设置在所述基板上;接触部,其对所述固定部和所述布线进行电连接;可动电极,其经由所述固定部而与所述布线电连接,在俯视观察时,所述接触部被设置在第一区域外的第二区域的所述固定部上,所述第一区域为,将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域。 | ||
地址 | 日本东京 |