一种照明系统

摘要

本发明涉及一种照明系统，包括依次排列的光源、椭球碗组件、耦合透镜组、折转模块、微透镜阵列、石英棒、中继透镜组以及照明对象，所述折转模块的入光端为正方形，所述折转模块的出光端与所述石英棒的入光端形状相同，所述光源发出的光经所述椭球碗组件的会聚后进入所述耦合透镜组，再经过所述折转模块、微透镜阵列以及石英棒的多次反射匀光后进入所述中继透镜组，最终成像在照明对象上。本发明通过在照明系统中增加折转模块，所述折转模块的入光端为正方形，出光端为长方形，这样，既提高了照明系统掩模面的光瞳均匀度，同时提高了系统的能量耦合效率。

主权项

一种照明系统，包括依次排列的光源、石英棒以及照明对象，其特征在于，还包括折转模块，所述折转模块设置在所述光源和所述石英棒之间。