发明名称 Device for coating substrates in a rotating manner
摘要 <p>Eine Vorrichtung zum Drehbelacken von Substraten mit flüssigen Medien mit einem Drehteller (1) und einer Abdeckeinheit (2) zum Abdecken des Substrats während eines Verteilvorgangs des flüssigen Mediums durch Drehen des Drehtellers (1), wobei der Drehteller (1) mit der Abdeckeinheit (2) dicht zusammenfügbar ist, wobei jedoch umfänglich angeordnete Durchgangslöcher vorgesehen sind, über welche der aus Abdeckeinheit (2) und Drehteller (1) gebildete Belackungsinnenraum nach aussen in Verbindung steht, wobei an den Drehteller (1) ein Substratteller (3) anliegt, wobei der Drehteller (1) auf der dem Substrat gegenüberliegenden Seite zumindest eine Dichtung (4) aufweist, welche geeignet ist den Substratteller (3) gegenüber dem Drehteller (1) atmosphärisch abzudichten. </p>
申请公布号 EP2530526(A3) 申请公布日期 2015.03.18
申请号 EP20120170047 申请日期 2012.05.30
申请人 SOLAR-SEMI GMBH 发明人 MUFFLER, PIRMIN
分类号 G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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