摘要 |
<p>Eine Vorrichtung zum Drehbelacken von Substraten mit flüssigen Medien mit einem Drehteller (1) und einer Abdeckeinheit (2) zum Abdecken des Substrats während eines Verteilvorgangs des flüssigen Mediums durch Drehen des Drehtellers (1), wobei der Drehteller (1) mit der Abdeckeinheit (2) dicht zusammenfügbar ist, wobei jedoch umfänglich angeordnete Durchgangslöcher vorgesehen sind, über welche der aus Abdeckeinheit (2) und Drehteller (1) gebildete Belackungsinnenraum nach aussen in Verbindung steht, wobei an den Drehteller (1) ein Substratteller (3) anliegt, wobei der Drehteller (1) auf der dem Substrat gegenüberliegenden Seite zumindest eine Dichtung (4) aufweist, welche geeignet ist den Substratteller (3) gegenüber dem Drehteller (1) atmosphärisch abzudichten.
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