| 摘要 |
<p>【課題】フラックスを使用しない半田接合を装置内で完結させる半田付け装置及び接合部材の製造方法を提供する。【解決手段】半田付け装置１は、第１の部材Ｗと第２の部材Ｐとの半田接合が行われるチャンバ１１と、金属表面の酸化物を還元する還元ガスＦをチャンバ１１内に供給する還元ガス供給部２０と、チャンバ１１内の気体Ｇを外部に排出する前に気体Ｇ中の還元ガスＦの濃度を低下させる還元ガス処理部３３と、チャンバ１１、還元ガス供給部２０、還元ガス処理部３３を収容する筐体１００とを備える。そして、チャンバ１１内を負圧にして第１及び第２の部材Ｗ、Ｐを搬入し、チャンバ１１内をさらに減圧してから還元ガスＦを供給し、第１及び第２の部材Ｗ、Ｐを還元温度に昇温し、第１及び第２の部材Ｗ、Ｐを半田の融点以上に昇温して第１及び第２の部材Ｗ、Ｐを半田接合し、チャンバ１１内から排出された還元ガスＦの濃度を低下させて排出する。【選択図】図１</p> |
