| 发明名称 | 光栅变形驱动机构及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体器件技术领域，特别是涉及一种光栅变形驱动机构及其制造方法。该光栅变形驱动机构，包括：光栅（1）和变形致动机构（2），所述光栅（1）位于所述致动机构（2）上。本发明结构简单，位移传递精度高，可拼接大口径光栅，可应用于精密传递微小位移，并能用于改变能动光学的光学元件面形。 | ||
| 申请公布号 | CN104423031A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201310385126.0 | 申请日期 | 2013.08.29 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 黄磊;巩马理;郑万国;闫平;柳强;张海涛 |
| 分类号 | G02B26/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种光栅变形驱动机构，其特征在于，包括：光栅（1）和变形致动机构（2），所述光栅（1）位于所述致动机构（2）上。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园北京100084-82信箱 | ||