| 发明名称 | 用于分离混合气体中的氩气的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一用于分离混合气体中的氩气的方法和装置，以及所述方法和装置在回收从一热炉中产生的氩气中的运用，该氩气产生于通过融化硅颗粒来生产单晶或多晶硅。该方法含有以下几个步骤：聚集混合气体，粗略去除混合气体中的油成分，压缩混合气体，冷却混合气体，细致去除混合气体中的油成分，分离混合气体中的氧气，干燥混合气体，低温纯化剩余的混合气体用来液体分离其中的氩气。 | ||
| 申请公布号 | CN102725437B | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201080046623.2 | 申请日期 | 2010.09.30 |
| 申请人 | 雷卡特股份有限公司 | 发明人 | M·万纳;H·尼凯尔 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C01B23/00(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B13/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I;F25J3/02(2006.01)I;F25J3/08(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟 |
| 主权项 | 一种从混合气体中分离氩气的方法，该方法含有先后顺序如下的几个步骤：‑聚集混合气体，‑粗略去除混合气体中的油成分，‑压缩混合气体，‑冷却混合气体，‑细致去除混合气体中的油成分，‑分离混合气体中的氧气，‑干燥混合气体，‑低温纯化剩余的混合气体用来液体分离其中的氩气。 | ||
| 地址 | 德国盖尔恩豪森 | ||