发明名称 |
化学清洗装置 |
摘要 |
一种化学清洗装置,包括:用于盛放化学清洗液的储液箱;位于所述储液箱顶部的主送管道,所述主送管道自所述储液箱外部通入所述储液箱内部,且所述主送管道伸入储液箱内的长度可调;位于所述储液箱内部的若干分液管道,所述分液管道的一端与所述主送管道连通,所述分液管道的另一端向储液箱的侧壁方向延伸且高于化学清洗液的液面,所述分液管道与主送管道之间具有夹角,且所述夹角大小可调;位于所述储液箱内侧壁表面的引流装置,所述分液管道朝向储液箱侧壁一端的活动范围在所述引流装置覆盖的范围内,且所述分液管道到引流装置之间的距离在预设范围内。所述化学清洗装置的清洗效果得到提高。 |
申请公布号 |
CN104425310A |
申请公布日期 |
2015.03.18 |
申请号 |
CN201310401334.5 |
申请日期 |
2013.09.05 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
徐俊 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种化学清洗装置,其特征在于,包括:储液箱,所述储液箱用于盛放化学清洗液;位于所述储液箱顶部的主送管道,用于将化学清洗液自储液箱外部输送至储液箱内部,所述主送管道自所述储液箱外部通入所述储液箱内部,且所述主送管道伸入储液箱内的长度可调;位于所述储液箱内部的若干分液管道,所述分液管道的一端与所述主送管道连通,所述分液管道的另一端向储液箱的侧壁方向延伸且高于化学清洗液的液面,用于将主送管道内的化学清洗液分流至若干分液管道内,并通过所述分液管道向储液箱内输送化学清洗液,所述分液管道与主送管道之间具有夹角,且所述夹角大小可调;位于所述储液箱内侧壁表面的引流装置,用于分散所述分液管道送出的化学清洗液,并使所述化学清洗液通过所述引流装置的引导流入储液箱内,所述分液管道朝向储液箱侧壁一端的活动范围在所述引流装置覆盖的范围内,且所述分液管道到引流装置具有预设距离;位于所述储液箱底部的输出管道,用于将储液箱中的化学清洗液输送出所述储液箱。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |