光学测量装置和光学层析方法

摘要

本发明提供一种抑制层间串扰和散斑等因光学干涉引起的噪声的小型且价廉的光学测量装置和光学层析方法。光学测量装置包括：出射激光的光源；在驱动上述光源的驱动电流上叠加高频电流的高频叠加单元；使上述激光分束为信号光和参考光的光分束元件；使上述信号光会聚照射在测量对象上的物镜；使上述信号光的会聚位置扫描的会聚位置扫描单元；调整上述信号光与上述参考光之间的光程差的光程差调整单元；使被上述测量对象反射或散射的信号光与上述参考光合束，生成相位关系彼此不同的多束干涉光的干涉光学系统；和检测上述干涉光的光检测器。

主权项

一种光学测量装置，其特征在于，包括：出射激光的光源；在驱动所述光源的驱动电流上叠加高频电流的高频叠加单元；使所述激光分束为信号光和参考光的光分束元件；使所述信号光会聚照射在测量对象上的物镜；使所述信号光的会聚位置扫描的会聚位置扫描单元；调整所述信号光与所述参考光之间的光程差的光程差调整单元；使被所述测量对象反射或散射的信号光与所述参考光合束，生成相位关系彼此不同的多束干涉光的干涉光学系统；和检测所述干涉光的光检测器。