| 发明名称 | 用于制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 | ||
| 摘要 | 公开了用于制造MEMS器件的方法以及MEMS器件。用于制造MEMS器件的方法，包括：在与牺牲层相邻的层内提供腔体。所述腔体延伸到所述牺牲层，并且包括伸出到层中的毛细槽。通过将所述牺牲层暴露于通过所述腔体所引入的刻蚀剂来去除所述牺牲层。 | ||
| 申请公布号 | CN104418288A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201410423101.X | 申请日期 | 2014.08.26 |
| 申请人 | 英飞凌科技股份有限公司 | 发明人 | A.德赫;C.格拉策尔;S.皮尔克 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 张涛;徐红燕 |
| 主权项 | 一种用于制造MEMS器件的方法，所述方法包括：在与牺牲层相邻的层内提供腔体，所述腔体延伸到所述牺牲层并且包括伸出到所述层中的毛细槽；以及通过将所述牺牲层暴露于通过所述腔体所引入的刻蚀剂来去除所述牺牲层。 | ||
| 地址 | 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1－12号 | ||