法布里-珀罗干涉仪及其生产方法

摘要

本发明涉及法布里-珀罗干涉仪及其制造方法。更具体地，本发明涉及利用诸如压电致动器、电致伸缩致动器或挠曲电致动器的一个或几个致动器的可控的法布里-珀罗干涉仪。在现有技术中，在实现反射镜之间足够小且均匀的间隙方面存在问题。在本发明中，中间结构(85a，85b，95a，95b，81a，81b，91a，91b，98a，98b)被用在反射镜与致动器之间或两个反射镜之间使用。生产的方法还包括在几个阶段中测量间隙的宽度分布，并且提供致动器的预启动。

主权项

一种可控法布里‑珀罗干涉仪，包括处于彼此基本上平行的位置上的第一反射镜(31)和第二反射镜(61)并且在所述第一反射镜与所述第二反射镜之间具有间隙(36)；在所述第一反射镜与所述第二反射镜之间的至少一个可控致动器(34a，34b，34c)，用于控制所述间隙的宽度；以及处于所述反射镜中的电极，所述电极用于所述间隙的宽度的电容测量，其特征在于，所述法布里‑珀罗干涉仪包括位于反射镜与致动器之间的中间结构，其中，所述中间结构被布置为减少所述法布里‑珀罗干涉仪的反射镜的弯曲。