| 发明名称 | 蒸镀源 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种蒸镀源。根据本发明的一实施例的蒸镀源包括：主体部件，形成为使有机物从上侧排出；加热单元，包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。根据这种结构，由于主体部件的上侧比下侧能够维持相对较高的温度，因此能够防止有机物在开口部发生凝固。即，蒸镀工艺在有机物于开口部发生凝固而对蒸镀源实施维护期间中断的情形变少，因此使蒸镀源的维护周期变长，从而可提高生产率。 | ||
| 申请公布号 | CN104419898A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201410018043.2 | 申请日期 | 2014.01.15 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 高晟洙;金在福;宋原准;李宽熙 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 张云珠;韩明星 |
| 主权项 | 一种蒸镀源，包括：主体部件，形成为使有机物从上侧排出；加热单元，包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道龙仁市 | ||