多补偿结构的高精度电容式压力传感器

摘要

本发明涉及一种多补偿结构的高精度电容式压力传感器，包括上基底和下基底，上基底的下表面与下基底的上表面接触；其特征是：在所述下基底上设有中部通槽，在中部通槽中设置可动膜片，可动膜片与中部通槽的侧壁气密连接，在可动膜片的上表面设置第一支撑部，在可动膜片的下表面设置检测受力岛，在第一支撑部的两侧分别对称设置第一检测电极和第二检测电极；在所述上基底的下表面对应于第一支撑部的位置设有第一槽体，第一槽体的尺寸大于第一支撑部的尺寸；在所述第一槽体的侧壁分别对称设置第三检测电极和第四检测电极，第一检测电极和第三检测电极相对设置，第二检测电极和第四检测电极相对设置。本发明能精确检测压力变化，具有良好线性度。

主权项

一种多补偿结构的高精度电容式压力传感器，包括上基底（100）和下基底（200），上基底（100）的下表面与下基底（200）的上表面接触；其特征是：在所述下基底（200）上设有中部通槽（201），在中部通槽（201）中设置可动膜片（41），可动膜片（41）与中部通槽（201）的侧壁气密连接，在可动膜片（41）的上表面设置第一支撑部（2011），在可动膜片（41）的下表面设置检测受力岛（5），在第一支撑部（2011）的两侧分别对称设置第一检测电极（111）和第二检测电极（121）；在所述上基底（100）的下表面对应于第一支撑部（2011）的位置设有第一槽体（101），第一槽体（101）的尺寸大于第一支撑部（2011）的尺寸；在所述第一槽体（101）的侧壁分别对称设置第三检测电极（112）和第四检测电极（122），第一检测电极（111）和第三检测电极（112）相对设置，第二检测电极（121）和第四检测电极（122）相对设置；在所述中部通槽（201）的左侧设置左部凹陷区域（202），左部凹陷区域（202）的底部为支撑床（42），在支撑床（42）的表面设置第二支撑部（2021），在第二支撑部（2021）的两侧分别对称设置第一参考电极（211）和第二参考电极（221）；在所述上基底（100）的下表面对应于第二支撑部（2021）的位置设有第二槽体（102），第二槽体（102）的尺寸大于第二支撑部（2021）的尺寸；在所述第二槽体（102）的侧壁分别对称设置第五参考电极（212）和第六参考电极（222），第一参考电极（211）和第五参考电极（212）相对设置，第二参考电极（221）和第六参考电极（222）相对设置。