高致密度氧化锌基靶材及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高致密度氧化锌基靶材及其制备方法。该方法依次包括如下步骤：混料步骤：向原料中加入粘结剂和水，混合均匀，得到均匀浆料，然后将所述浆料进行干燥并制粉，得到粒度分布均匀的干燥粉末颗粒；脱粘结剂及除气步骤：将所述干燥粉末颗粒装入对应尺寸的包套内，进行脱粘结剂及除气处理；热等静压步骤：将脱粘结剂及除气完毕的包套封焊后进行热等静压处理；退火步骤：对去除包套后的锭坯进行退火处理。采用该方法得到的氧化锌基靶材的相对密度不低于理论密度的99%，密度均匀，平均晶粒尺寸不大于30μm，无气孔和疏松。

主权项

一种高致密度氧化锌基靶材的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：混料步骤：向原料中加入粘结剂和水，混合均匀，得到均匀浆料，然后将所述浆料进行干燥并制粉，得到粒度分布均匀的干燥粉末颗粒；脱粘结剂及除气步骤：将所述干燥粉末颗粒装入对应尺寸的包套内，进行脱粘结剂及除气处理；热等静压步骤：将脱粘结剂及除气完毕的包套封焊后进行热等静压处理；退火步骤：对去除包套后的锭坯进行退火处理。