微透镜的制造方法

摘要

本发明提供一种微透镜的制造方法，其是在形成于基板上的透镜材料层上，在不经由熔融工序的情况下，形成具有图案形状的掩模层，与所述透镜材料层一起进行干式蚀刻，将所述掩模层的图案形状转印到所述透镜材料层上而形成微透镜。由于通过不经由利用作为掩模材料的光致抗蚀剂的热流的熔融工序，变得不需要用于利用熔融工序的透镜形状化的图案间间隙，所以能够缩小掩模图案间间隙，排除线宽不均。此外，由于不产生伴随熔融工序的图案间熔接，所以能够扩大掩模图案形成的工艺窗口。进而，间距方向和对角方向的蚀刻特性(沉积物的生成与蚀刻进行的平衡)得到改善，使无间隙化提高，能够缩短蚀刻时间。

主权项

一种微透镜的制造方法，其是在形成于基板上的透镜材料层上，在不经由熔融工序的情况下，形成具有图案形状的掩模层，与所述透镜材料层一起进行干式蚀刻，将所述掩模层的图案形状转印到所述透镜材料层而形成微透镜。