发明名称 |
VAPORIZATION VESSEL FOR USE IN VAPOR DEPOSITION UPON A CARRIER SUPPORT |
摘要 |
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申请公布号 |
US3452970(A) |
申请公布日期 |
1969.07.01 |
申请号 |
USD3452970 |
申请日期 |
1967.05.12 |
申请人 |
SIEMENS AG. |
发明人 |
GERHARD MAYER;ROLAND HAFT |
分类号 |
C23C14/24;(IPC1-7):F27B21/04;F27D5/00 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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