发明名称 VAPORIZATION VESSEL FOR USE IN VAPOR DEPOSITION UPON A CARRIER SUPPORT
摘要
申请公布号 US3452970(A) 申请公布日期 1969.07.01
申请号 USD3452970 申请日期 1967.05.12
申请人 SIEMENS AG. 发明人 GERHARD MAYER;ROLAND HAFT
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):F27B21/04;F27D5/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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