发明名称 |
一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具及其切割方法 |
摘要 |
本发明公开了一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具,在底板上固定设置有内模与外模,所述外模与内模圆心重合,内模上安装有多个微调销钉紧固坩埚块体。本发明还公开了利用上述装置进行石墨坩埚单瓣块体再生利用的方法,将单晶硅生产过程中因R部位腐蚀减薄报废的石墨坩埚单瓣块体的两个连接断面,沿圆心向内壁旋转10°~30°角,从断面平行方向将R部位减薄的竖直断面切除,重新拼合组成一套360°角的石墨坩埚,实现石墨坩埚的再生利用。本发明的切割模具及方法,实现了减薄需要报废的石墨坩埚单瓣块体的再生利用。 |
申请公布号 |
CN102586863B |
申请公布日期 |
2015.03.18 |
申请号 |
CN201210059312.0 |
申请日期 |
2012.03.08 |
申请人 |
宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
发明人 |
陈海云;秦秀珍 |
分类号 |
B28D1/22(2006.01)I;C30B15/10(2006.01)I |
主分类号 |
B28D1/22(2006.01)I |
代理机构 |
西安弘理专利事务所 61214 |
代理人 |
罗笛 |
主权项 |
一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具,其特征在于:在底板(10)上固定设置有内模(8)与外模(7),所述外模(7)与内模(8)圆心重合,内模(8)上安装有多个微调销钉(9);所述的外模(7)与内模(8)组合后沿圆周方向,每间隔30°角设有一个角度缺口槽(6),在角度缺口槽(6)内插有一角度规(5);所述的外模(7)或内模(8)上刻有角度刻度;所述的外模(7)内径与石墨坩埚的单瓣块体A(11)的外径相同,所述的内模(8)的外径比单瓣块体A(11)内径小1~2mm。 |
地址 |
755100 宁夏回族自治区中卫市中宁县新堡镇团结南路 |