多级灵敏度输出的微机电系统麦克风装置以及其电路

摘要

本发明公开一种多级灵敏度输出的微机电系统麦克风装置及其电路。该微机电系统装置包含具有空腔的衬底。介电层设置在所述衬底的第二侧上在所述空腔的外围。背板结构与所述介电层一起形成在所述衬底的第一侧上且通过所述空腔暴露。所述背板结构包含至少第一背板以及第二背板。所述第一背板与所述第二背板电性断开且具有用以连接所述空腔与腔室的通风孔。振膜设置在所述背板结构上方相隔一距离，以便在所述背板结构与所述振膜之间形成腔室。所述振膜的外围嵌入在所述介电层中。所述振膜充当共同电极。所述第一背板以及所述第二背板分别充当第一电极单元以及第二电极单元以与所述振膜协力形成独立的两个电容器。

主权项

一种微机电系统麦克风装置，包括：衬底，具有第一侧以及第二侧，其中空腔形成在所述第二侧；背板结构，形成在所述衬底的所述第一侧上方，其中所述背板结构包含至少第一背板以及第二背板，其中所述第一背板与所述第二背板电性断开且具有通风孔；振膜，形成在所述衬底的所述第一侧上方与所述背板结构相隔一距离，以便在所述背板结构与所述振膜之间形成腔室，其中所述振膜充当共同电极，其中所述第一背板以及所述第二背板分别充当第一电极单元以及第二电极单元以与所述振膜协力形成独立的两个电容器，所述两个电容器通过所述空腔暴露。