发明名称 | 用于光学邻近校正模型的校准数据收集方法和系统 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于光学邻近校正模型的校准数据收集方法和系统。根据本发明一个方面的校准数据收集方法包括从起始块开始,逐块扫描晶片上的所有块以形成每个块的扫描图像;将全部块的扫描图像缝合成缝合图像;将晶片的布局数据映射到所述缝合图像上;以及测量所述缝合图像上预选位置的图像以获得校准数据。通过使用本方法,使得能够自动执行光学邻近校正模型的校准数据收集,而无需“点到点”的人工复本创建,实现了完全的数据质量置信度以及数据的可重复性,从而提高了效率、时间和成本。 | ||
申请公布号 | CN104423142A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
申请号 | CN201310371044.0 | 申请日期 | 2013.08.22 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 蔡博修 |
分类号 | G03F1/36(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/36(2012.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 鲍进 |
主权项 | 一种用于光学邻近校正模型的校准数据收集方法,包括:从起始块开始,逐块扫描晶片上的所有块以形成每个块的扫描图像;将全部块的扫描图像缝合成缝合图像;将晶片的布局数据映射到所述缝合图像上;以及测量所述缝合图像上预选位置的图像以获得校准数据。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |