发明名称 |
SiC半导体装置的制造方法 |
摘要 |
本发明的目的在于提供一种能够通过4探针法测定电阻值的SiC半导体装置的制造方法。本发明所涉及的SiC半导体装置的制造方法具有:工序(a),其向SiC衬底的表面层注入大于或等于1×10<sup>20</sup>cm<sup>-3</sup>浓度的杂质;工序(b),其在工序(a)之后,在SiC衬底的表面形成石墨膜;工序(c),其在工序(b)之后,通过对SiC衬底进行退火处理而使杂质活性化;工序(d),其在工序(c)之后,将石墨膜去除;工序(e),其在工序(d)之后,将SiC衬底的表面氧化而形成氧化膜;工序(f),其将氧化膜去除;以及工序(g),其在工序(f)之后,对该SiC衬底通过4探针法进行电阻值的测定。 |
申请公布号 |
CN104425215A |
申请公布日期 |
2015.03.18 |
申请号 |
CN201410459152.8 |
申请日期 |
2014.09.10 |
申请人 |
三菱电机株式会社 |
发明人 |
小林和雄 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
何立波;张天舒 |
主权项 |
一种SiC半导体装置的制造方法,其具有:工序(a),在该工序中,向SiC衬底的表面层注入大于或等于1×10<sup>20</sup>cm<sup>‑3</sup>浓度的杂质;工序(b),在该工序中,在所述工序(a)之后,在所述SiC衬底的表面形成石墨膜;工序(c),在该工序中,在所述工序(b)之后,通过对所述SiC衬底进行退火处理而使所述杂质活性化;工序(d),在该工序中,在所述工序(c)之后,将所述石墨膜去除;工序(e),在该工序中,在所述工序(d)之后,将所述SiC衬底的表面氧化而形成氧化膜;工序(f),在该工序中,将所述氧化膜去除;以及工序(g),在该工序中,在所述工序(f)之后,对该SiC衬底通过4探针法进行电阻值的测定。 |
地址 |
日本东京 |