发明名称 |
剥离起点形成装置及形成方法、叠层体制造装置 |
摘要 |
本发明的一个方式的目的是:提供一种剥离起点形成装置,借助于剥离起点能够剥离加工构件的表层以分离剩余部;提供一种具备被剥离了表层的加工构件的剩余部及支撑体的叠层体的制造装置。本发明的一个方式包括:支撑加工构件的载物台;与载物台相对的切削工具;支撑切削工具的头部;支撑头部的臂部;以及将切削工具相对载物台移动的移动机构。 |
申请公布号 |
CN104425320A |
申请公布日期 |
2015.03.18 |
申请号 |
CN201410436493.3 |
申请日期 |
2014.08.29 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
小松立;横山浩平;大野正胜;井户尻悟;池田寿雄;神保安弘;安达广树;平形吉晴;江口晋吾;中村太纪 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
何欣亭;姜甜 |
主权项 |
一种剥离起点形成装置,包括:支撑将被形成剥离起点的加工构件的载物台,借助于所述剥离起点能够剥离所述加工构件的表层以形成剩余部;与所述载物台相对的切削工具;支撑所述切削工具的头部;支撑所述头部的臂部;以及确定所述切削工具相对于所述载物台的位置的移动机构,其中,所述切削工具以使所述加工构件的一部分剩下的方式切削所述加工构件,并且,所述移动机构将所述切削工具沿着所述载物台相对移动。 |
地址 |
日本神奈川县厚木市 |