| 发明名称 | 制造金属掩模的方法及使用该方法形成的金属掩模 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种制造金属掩模的方法及使用该方法形成的金属掩模。根据本发明示例性实施方式的制造金属掩模的方法包括：通过在板的顺序变小的、重叠的部分上用激光进行扫描来使用激光在板中形成通孔。 | ||
| 申请公布号 | CN104425219A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201410448981.6 | 申请日期 | 2014.09.04 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 李忠浩;朴东真;李道炯;尹盛湜;郑茶姬;赵俊豪 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;刘铮 |
| 主权项 | 一种制造金属掩模的方法，包括：将板平面化；以及在所述板中形成通孔，每个所述通孔通过多次用激光在所述板的对应图案区域上进行扫描而形成。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||