| 发明名称 | 质量流量控制器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种质量流量控制器，包括：阀体；传感器，与所述阀体相连，用于检测流经所述阀体的流体的流量；主控制器，与所述传感器连接，用于控制流经所述阀体的流体的流量；微处理器，与所述主控制器和传感器连接，用于对所述质量流量控制器进行零点补偿。在本实用新型提供的质量流量控制器中，增设了微处理器，通过所述微处理器检测零流量状态下的零点漂移电压，并根据所述零点漂移电压计算零点漂移的补偿值，从而实现自动补偿。 | ||
| 申请公布号 | CN204215278U | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201420547277.1 | 申请日期 | 2014.09.22 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 毛宇 |
| 分类号 | G05D7/06(2006.01)I | 主分类号 | G05D7/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种质量流量控制器，其特征在于，包括：阀体；传感器，与所述阀体相连，用于检测流经所述阀体的流体的流量；主控制器，与所述传感器连接，用于控制流经所述阀体的流体的流量；微处理器，与所述主控制器和传感器连接，用于对所述质量流量控制器进行零点补偿。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||