试料观察装置用之样板作成装置及试料观察装置

摘要

本发明系提供一种技术，针对进行了复数个制程处理之图样，将该些制程处理纳入考量来执行图像处理，藉此适当地作成图像处理用之样板。;利用设计资料来作成图像处理用的样板之试料观察装置用之样板作成装置，具备：记忆部，存储着制程资讯，该制程资讯定义有关复数个制程处理之资讯；及样板作成部，利用制程资讯对设计资料做加工处理，以作成图像处理用的样板。