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发明名称
一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备
摘要
本发明提供了一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备,藉由在测温装置的绝缘管内部设置热电极固定装置,将所述两根热电极与所述绝缘管保持相对固定,从而使得测量端与待测温物体的表面接触良好,避免了日常设备维护时,热电极由于维护过程中的拖拽与绝缘管发生滑移,从而影响测量结果的现象,保证了测量结果的稳定性和准确性,同时在绝缘管下方设置一弹簧,藉由弹簧的弹力使得测量端与被测物体接触良好的同时,避免了测温装置与被测温物体的刚性接触导致的被测温物体破裂。
申请公布号
TW201510492
申请公布日期
2015.03.16
申请号
TW103121312
申请日期
2014.06.20
申请人
中微半导体设备(上海)有限公司
发明人
左涛涛;吴 狄;倪图强
分类号
G01K1/08(2006.01);G01K7/02(2006.01);H01L21/67(2006.01)
主分类号
G01K1/08(2006.01)
代理机构
代理人
林志青
主权项
地址
中国大陆 CN
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