散射量测系统中之光圈对准;APERTURE ALIGNMENT IN SCATTEROMETRY METROLOGY SYSTEMS

摘要

本发明提供方法及演算法以及针对相对于一量测系统之光轴之光圈之未对准之新计量。方法包括使用藉由使相对于一周期性结构之叠对量测计算之一叠对变动量度最小化而导出之(诸)修正项将(诸)光圈对准至一散射量测工具之一光轴。此等方法得到高敏感度未对准计量，其可在校正步骤中或在作业中用于对准系统之光圈且实现归因于所得提高之对准准确度而减小目标大小。