具有所欲成分及膜特性之矽碳化物类薄膜的取得方法;METHOD TO OBTAIN SIC CLASS OF FILMS OF DESIRED COMPOSITION AND FILM PROPERTIES

摘要

本发明系用于形成矽碳化物类膜的方法及系统。矽碳化物膜的组成可受到前驱物的结合选择及前驱物间的流率比控制。可藉由在反应腔室中将二个不同的有机矽前驱物流动混合在一起而在基板上沉积矽碳化物膜。有机矽前驱物与极低能态的一个以上自由基起反应，而形成矽碳化物膜。一个以上的自由基可在远端电浆源中形成。