| 发明名称 |
形成包括锗锡之膜的方法及包括膜的结构及装置;METHODS OF FORMING FILMS INCLUDING GERMANIUM TIN AND STRUCTURES AND DEVICES INCLUDING THE FILMS |
| 摘要 |
本发明揭示使用锗烷作为前驱物形成锗锡膜之方法。例示性方法包括使包括锗及锡之膜在磊晶化学气相沈积反应器中生长，其中锡前驱物与锗烷之比率低于0.1。本发明亦揭示包括使用本文所述方法形成之锗锡膜的结构及装置。 |
| 申请公布号 |
TW201510266 |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
| 申请号 |
TW103120478 |
申请日期 |
2014.06.13 |
| 申请人 |
ＡＳＭ智慧财产控股公司 ASM IP HOLDING B. V. |
发明人 |
托勒 约翰 TOLLE, JOHN |
| 分类号 |
C23C16/06(2006.01);C30B25/02(2006.01);C30B29/08(2006.01);H01L31/028(2006.01);H01L33/34(2010.01) |
主分类号 |
C23C16/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰林景郁 |
| 主权项 |
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| 地址 |
荷兰 NL |
