发明名称 |
导电靶材;CONDUCTIVE TARGET MATERIAL |
摘要 |
本发明系关于一种导电靶材,其包含主要一种锂化合物、较佳磷酸锂,及碳,以及典型杂质。本发明进一步系关于一种制造导电靶材之方法且系关于其用途。 |
申请公布号 |
TW201510248 |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
申请号 |
TW103126722 |
申请日期 |
2014.08.05 |
申请人 |
攀时欧洲公司 PLANSEE SE |
发明人 |
波尔瑟克 彼德 POLCIK, PETER;法兰斯格 安瑞克 FRANZKE, ENRICO;沃尔夫 马克思 WOLFF, MARCUS |
分类号 |
C23C14/06(2006.01);H01M10/0585(2010.01);B22F3/14(2006.01);B22F3/105(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
阎启泰林景郁 |
主权项 |
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地址 |
奥地利 AT; |