一种容置装置，制造方法，及其用途;A holding device, method for its manufacture and its use

摘要

本发明系关于一种容置装置(10；50)，其制造方法，及用途。该容置装置系藉由电浆辅助型化学气相沉积而于其表面具有一涂层(12；52)，其包含：碳化矽、玻璃碳、或热分解碳。