生产多晶矽之方法;PROCESS FOR PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON

摘要

本发明提供一种生产多晶矽的方法，包括将一包含一含矽成分和氢气的反应气体引入一反应器中，该反应器含有至少一个经加热的丝棒，多晶矽系沉积在其上。该反应器包含至少一个管状视镜，其系通过反应器端而固定在反应器壁中的一孔口上，并在另一端具有一玻璃表面，在沉积过程中透过视镜管中的孔供给冲洗气体，其中，一冲洗气体流M1系靠近视镜之该玻璃表面流动，且系实质上与该玻璃表面平行，以及至少一个其他冲洗气体流M2系在视镜之该反应器端方向上相对于玻璃表面呈一定角度流动，其系在视镜之该反应器端方向上与该冲洗气体流M1相隔开。