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发明名称
一种将多个罩幕对准至多个工作的系统与方法;A SYSTEM AND METHOD FOR ALIGNING A PLURALITY OF MASKS TO A PLURALITY OF WORKPIECES
摘要
多个罩幕附接至罩幕框的底面。此附接使各罩幕能够在三方向上相对于罩幕框而独立地移动。此相对移动使各罩幕调整其位置以与配置于工作表面上的个别对准销对准。在一实施例中,使用固定器将各罩幕附接至罩幕框,其中固定器具有轴部,轴部的直径小于配置于罩幕上之固定孔的直径。可使用偏置元件使得罩幕与罩幕框能在垂直方向上相对移动。各罩幕亦可具有活动零件,以与工作表面上的个别对准销配对。
申请公布号
TW201511098
申请公布日期
2015.03.16
申请号
TW103124655
申请日期
2014.07.18
申请人
瓦里安半导体设备公司 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人
威波 亚隆P WEBB, AARON P.;卡尔森 查理斯T CARLSON, CHARLES T.;河南 麦克 HONAN, MICHAEL;亚玛多 陆伊基G AMATO, LUIGI G.;葛兰特 克里斯多夫 尼尔 GRANT, CHRISTOPHER NEIL;史瑞斯奈 詹姆斯D STRASSNER, JAMES D.
分类号
H01L21/265(2006.01)
主分类号
H01L21/265(2006.01)
代理机构
代理人
叶璟宗郑婷文詹富闵
主权项
地址
美国 US
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