电浆处理装置

摘要

提供一种具备有可轻易对应于高输出化之高频电源的电浆处理装置。第1高频电源部(65)，系具备有电源控制部(130)、高频电源(140)及整合器(150)。在整合器(150)，并联地连接有复数个放大部(142)，且合成各放大部(142)所放大的高频电力。又，整合器150，系被连接于匹配箱(63)，而整合器(150)所合成的高频电力，系经由匹配箱(63)，被供电至作为上部电极作用的喷头(31)。