计量学目标之极化量测及对应之目标设计;POLARIZATION MEASUREMENTS OF METROLOGY TARGETS AND CORRESPONDING TARGET DESIGNS

摘要

提供目标、目标元素及目标设计方法，其包括将一目标结构设计为具有相对于其在极化光中之背景之高于一特定对比度临限值之一高对比度，同时具有相对于其在非极化光中之背景具有低于该特定对比度临限值之一低对比度。该等目标可具有装置特征级之细节且可与装置设计规则相容，在结合极化照明量测时仍可维持光学对比度且因此被有效用作计量学目标。亦提供设计变型及各自量测光学系统。